 | • レポートコード：MRCLP-R8-NV7996 • 出版社/出版日：LP Information / 2026年11月 • レポート形態：英文、PDF、113ページ • 納品方法：Eメール（納期：2-3営業日） • 産業分類：Machinery & Equipment |
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レポート概要
【調査レポートの概要】
■ グローバル市場規模予測
世界のArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム市場規模は、2025年に約2,062万米ドル、2032年には3,333万米ドルに成長すると予測されており、2026年から2032年の年平均成長率（CAGR）は7.5%と見込まれている。
■ 製品概要
ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステムは、193nmのArF液浸リソグラフィ装置の使用点において、露光領域に供給される超純水中の溶存ガスや微小気泡を制御するための特殊な流体処理システムおよび機能モジュールである。主な機能は、投影レンズとウェーハ間の安定した液浸媒体を維持することであり、溶存酸素、窒素などのガスを除去しつつ、水質、圧力、流量、温度を厳密に制御し、気泡や流体変動が画像性能や欠陥管理に与える影響を最小化することにある。主要な製品構成には、統合型POU（ポイントオブユース）水処理システム、独立型脱ガスシステム、および脱ガスモジュールが含まれる。主流の技術は膜コンタクターによる脱ガス、直接真空脱ガス、ハイブリッドの多段脱ガスである。高性能システムは1ppb以下の溶存酸素レベルを実現可能で、脱ガスに加え、全有機炭素（TOC）、イオン、粒子、圧力、温度、その他の水質およびプロセスパラメーターの管理を一体化している。本調査は、ArF液浸リソグラフィの超純水脱ガスに直接関係するシステム・モジュールに焦点を当て、主にロジックおよびDRAMウェーハ製造の下流用途を対象とする。
■ 主要な調査結果
– 2025年の新規設置されたArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステムの加重平均販売価格は約95,000米ドル／台。
– 膜コンタクター脱ガスが主流技術として継続。
– ハイエンド商用システムは溶存酸素を1ppb以下に抑え、典型的には0.2～0.4ppbを実現。
– ロジックとDRAMが主要な下流用途。
– 北米はシステムレベルの供給能力において強い地位を維持。
■ 市場動向
最も顕著な技術トレンドは、単独の溶存ガス除去から統合型POU流体調整への移行である。先進的な液浸リソグラフィでは、溶存酸素だけでなくTOC、イオン、シリカ、粒子、温度、圧力、流量も制御が必要となり、脱ガス機能は浄化、循環、ろ過、熱交換、オンライン監視とますます一体化している。EntegrisやXylemの関連システムもこの方向性を反映している。別の傾向は溶存酸素仕様のさらなる厳格化であり、サブppb性能が高級システムの重要な特徴となり、膜の質量移動効率、真空安定性、流体浸出物の低減、システム全体の清浄度に対する要求が高まっている。膜脱ガスと他の酸素除去法を組み合わせるハイブリッド構成も、極めて低い溶存酸素と高いプロセス安定性を求める用途で開発の可能性を持つ。
■ 市場ダイナミクス
市場は成熟期に入っているが、強力な構造的レジリエンスを保持している。成長はもはや初期の液浸リソグラフィ採用だけでなく、ArF液浸リソグラフィシステムの継続的な展開、高度ロジック・メモリ容量の拡大、設置設備の改修・移設、脱ガスメンブレンおよび流体制御部品の定期的交換に支えられている。2025年の世界的なDUV装置需要は比較的高水準を維持し、2026年も液浸DUV生産能力はかなりの規模を保つ。さらに生産能力拡大計画が関連水処理サブシステムの需要を支えている。市場は新規設置の比較的安定した需要と、設置済みベースおよびシステムアップグレードからの需要拡大を特徴とする構造へと発展している。
■ 成長要因
先進的半導体製造におけるArF液浸リソグラフィの継続使用が基本的な需要推進力である。EUVは一部の先端クリティカル層でArFマルチパターニング依存を減少させたが、液浸DUVはロジックとDRAMの製造フローで依然重要な位置を占めており、拡大する先端ロジック・メモリ容量が関連装置の需要を支えている。サブシステムレベルでは、より厳格な欠陥制御要件がもう一つの主要な成長要因。液浸用水は極めて低い溶存ガスレベル、安定した圧力・温度、高度な清浄度を維持する必要があり、市販のPOUシステムはこれらの要求を中心に進化している。加えて、世界的にArF液浸リソグラフィシステムの設置基盤が拡大しているため、メンブレンモジュール、ポンプ、センサーおよび流体制御部品の定期交換やシステムアップグレードによる安定したリカーリング需要が生まれている。
■ 制約要因
主な制約は市場の適用範囲が狭いことである。これらのシステムは主にArF液浸リソグラフィに使用され、半導体超純水市場全体には広がっていないため、世界的な装置需要は限定的であり、特定リソグラフィプラットフォームと先端ウエハ工場への依存度が高い。また、EUVの浸透は長期的な構造的制約であり、一部の先端クリティカル層での採用がArF液浸マルチパターニングの必要性を減少させる。さらに、適格性検証の期間が長いことも課題。接液材料、溶存ガスレベル、粒子発生、浸出物、信頼性、温度圧力安定性などの厳格な検証が必要であり、従来型の半導体用UPWや脱ガス技術を持つサプライヤーが液浸リソグラフィのサプライチェーンに参入することが難しく、高い技術的・顧客適格性の壁となっている。
■ 機会
中期的な最も明確な機会は追加のArF液浸リソグラフィ生産能力増強および設置済み基盤のアップグレードにあり、顧客数の急速な拡大ではない。液浸DUV能力の拡大は、POU水処理システム、脱ガスモジュール、高純度流体部品の需要を支えると予想される。レトロフィットやアップグレード需要も魅力的な機会を提供する。旧型液浸リソグラフィシステムが稼働、または工場間で移設されることで、溶存ガス制御、ろ過、温度制御、監視、脱ガスモジュールのアップグレードや再認定が必要となるケースが増えている。地域的なサプライチェーンのローカリゼーションも機会の一つであり、特に中国における超クリーン流体制御と脱ガスメンブレンの国内化が進んでいる。新規参入者は、完全なPOUプラットフォームを直接置き換えるよりも、脱ガスモジュールや重要サブシステムを通じた認定取得の方が現実的である。
■ 課題
核心的な技術課題は、追加の粒子発生や圧力変動、流量乱れ、材料からの浸出物を生じさせずに極めて低い溶存ガスレベルを達成することである。脱ガス性能はTOC、粒子制御、温度安定性、システム全体の清浄度と切り離して評価できない。サプライヤーは膜技術、真空工学、超純流体ハンドリング、計測器、システム制御にまたがる多分野の能力を求められる。Xylemの関連POUシステムは、溶存酸素レベル0.2～0.4ppbを維持しつつTOCを1ppb未満に抑えるなど、高級システムの包括的な水質要件を示している。もう一つの課題は市場の透明性が限定的なことであり、脱ガス機能がUPWポリッシングやリソグラフィサポートシステムに組み込まれ、脱ガス単体の収益、出荷量、平均販売価格があまり公表されない。重要な膜や高純度流体材料、主要部品の集中もサプライチェーンマネジメントリスクを高めている。
■ 産業チェーン分析
上流は疎水性中空糸膜および膜コンタクター、高純度フッ素樹脂（PFA等）、真空ポンプ・制御部品、超純水ポンプ、バルブ・継手、溶存酸素・抵抗率測定機器、熱交換器、ろ過要素、電子制御部品などを供給。中流はこれらを脱ガスモジュール、独立型脱ガスシステム、統合型POU超純水調整システムに組み込む。接液流路自体が汚染源となるため、高純度材料選定と超クリーン製造が重要。下流需要は主にロジック・DRAM製造向けArF液浸リソグラフィを使用するウェーハ工場からで、これらシステムは通常、中央超純水インフラとリソグラフィ装置間に設置され、工場ユーティリティと主要プロセス装置の間の専用POUインターフェースを形成。脱ガスは浄化、ろ過、温度・圧力管理と連携して稼働し、単体の水処理工程としては機能しない。
■ バリューチェーン分析
製品価値は、個別の膜材料や一般的な流体ハンドリング部品から、認定脱ガスモジュールや完全統合POUシステムへと大幅に向上する。膜および部品段階では、価値は主にガス移動効率、化学適合性、清浄度、耐用年数に依存。脱ガスモジュールは真空設計、流れの分配、シールの信頼性、溶存ガス制御により付加価値を生む。完全システムは超クリーン統合、自動制御、圧力・温度安定性、オンライン監視、顧客適格性、長期現場サポートを通じてさらに高い価値となる。本レポート推定によると、2025年の新規設置システムの加重平均販売価格は約95,000米ドルであり、単一の膜コンタクター価値を大きく上回る。初期設置後も交換モジュール、予防保守、現場サービス、システムアップグレードによりライフサイクル収益が継続し、設置基盤拡大でアフターマーケットおよびアップグレード需要の重要性が増す。
■ セグメントインサイト
脱ガス技術別では膜コンタクター脱ガスが主流であり、疎水性中空糸を使い高純度水中の溶存ガスを安定して移動させる。直接真空脱ガスは主に独立型システムで使われ、ハイブリッド脱ガスは複数のガス除去手法を組み合わせてより低溶存酸素と高プロセス安定性を目指す。製品構成別では、浄化、ろ過、監視、温度・圧力制御を組み合わせた統合型POU水処理システムが高付加価値セグメント。独立型脱ガスシステムと交換可能な脱ガスモジュールも主要な製品形態。膜材料別にはポリプロピレン、ポリメチルペンテン、フッ素樹脂が主要ルート。下流用途別ではロジックとDRAMが最重要。購入形態別には新規設置、レトロフィットおよびアップグレード、交換モジュール・スペアパーツに分かれ、設置済み基盤拡大に伴い後者の重要性が増している。
■ 下流市場機会
ロジック半導体製造はEUVが全DUV層を置換しきらないため、液浸層の重要な需要源。EUVとArF液浸リソグラフィの組み合わせで各種パターニングが実施される。DRAMも先端メモリの構造複雑化と継続的な設備投資により大きな需要機会。新工場建設だけでなく設置済み基盤が持続的市場機会の源泉となる。旧型装置の改修、工場間移設、生産ライン転換、厳格なプロセス条件によりPOU水処理システムの再認定やアップグレードが誘発される。脱ガスサブシステムはリソグラフィ装置全体価値の一部でしかないが、水質と欠陥管理に直接影響するため、システムアップグレードはリソグラフィ全体を更新せずにプロセス安定性を向上させる経済的な選択肢となる。
■ 地域別インサイト
北米は検証済みの統合型POU水処理システムおよび高純度流体管理技術で強い供給基盤を持ち、成熟した半導体装置サブシステムエコシステムに支えられている。日本は超純水工学、中空糸膜、真空脱ガス、半導体グレード流体部品の高度な専門知識を蓄積し、脱ガスモジュールと関連技術で重要な地位を占める。中国は輸入依存から超クリーン流体制御と脱ガスメンブレンの国内化へ徐々に移行中だが、公開可能な大規模ArF液浸設置例や長期検証データは成熟地域ほど多くない。韓国と台湾は大規模先進ロジック・メモリウェーハ製造拠点として主要需要地であるが、地元サプライは主に半導体UPWシステム、専門モジュール、関連部品に集中。欧州は専用サプライヤーは少ないが、リソグラフィ装置エコシステム、高純度工学能力、半導体プロセス技術の面で戦略的重要性を維持。
■ 競争環境分析
競争は完全システムレベルで比較的集中している一方、脱ガスモジュールや主要コンポーネントで多様。北米サプライヤーは統合型POU調整システムと高純度流体管理技術で優位。日本サプライヤーは特殊脱ガス装置、膜技術、超純水工学に集中。中国サプライヤーは超クリーン流体制御サブシステムや国内膜技術を通じて参入し、ローカリゼーションが進展。韓国・台湾は半導体UPWシステムおよび支援部品に積極参加。競争の主障壁は従来の生産規模ではなく、長期的な適格性記録、汚染制御能力、超低溶存ガス性能、プロセス安定性、顧客設置実績、長期現場サポート能力。新規参入者は成熟した完全POUシステムの直接置換より、認定済み脱ガスモジュールやサブシステムでシェア獲得を目指す傾向が強い。
■ レポート対象範囲
LP Information, Inc.（LPI）の最新調査レポート「ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム産業予測」は、過去の販売実績と2025年の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上をレビューし、2026年から2032年までの地域別・市場セクター別の販売見通しを詳述している。地域、市場セクター、サブセクター別の売上を米ドル単位で詳細に解析。
本調査レポートは、世界のArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム市場の全体概況と製品セグメンテーション、企業形成、収益、市場シェア、最新開発、M&A動向を網羅的に分析。主要グローバル企業の戦略を、製品ポートフォリオと能力、市場参入戦略、市場立ち位置、地域展開の視点から解析し、加速する世界市場における各企業の独自の位置を理解する。
本レポートは、世界のArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム市場の主要トレンド、成長要因、影響因子を評価し、脱ガス技術別、用途別、地理別、市場規模別の予測分析を行うことで、新たな成長機会を浮き彫りにしている。数百に及ぶ定性的・定量的市場データに基づく透過的な手法で、現在の市場状況と将来の動向を高度に詳細に示している。
本レポートでは、製品タイプ、用途、主要メーカー、主要地域・国別の市場シェアと成長機会の総合的な概観を提供。
■ 市場セグメンテーション
【脱ガス技術別】
– 膜コンタクター脱ガス
– 直接真空脱ガス
– ハイブリッド脱ガス
– その他
【膜材質別】
– ポリプロピレン
– ポリメチルペンテン
– フッ素樹脂
– その他
【溶存酸素制御レベル別】
– 超低DO ≤1ppb
– 低DO >1～10ppb
– 標準DO >10ppb
– その他
【用途別】
– ロジック
– DRAM
– その他
【地域別】
– アメリカ大陸
– 米国
– カナダ
– メキシコ
– ブラジル
– アジア太平洋（APAC）
– 中国
– 日本
– 韓国
– 東南アジア
– インド
– オーストラリア
– 欧州
– ドイツ
– フランス
– 英国
– イタリア
– ロシア
– 中東・アフリカ
– エジプト
– 南アフリカ
– イスラエル
– トルコ
– GCC諸国（湾岸協力会議各国）
■ 主要企業プロファイル
本レポートは、主要な専門家からの情報や企業のカバレッジ、製品ポートフォリオ、市場浸透度を分析し以下の企業を選定。
– Xylem Inc.
– Entegris, Inc.
– Nomura Micro Science Co., Ltd.
– Zhejiang CHEER Technology Co., Ltd.
– Thermo Fisher Scientific Inc.
– DIC Corporation
– Henkel AG & Co. KGaA
– Wacker Chemie AG
– Elkem ASA
– CHT Germany GmbH
– WEVO CHEMIE GmbH
■ 本レポートで解決する主な疑問
– 世界のArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム市場の今後10年間の展望は？
– 世界および地域別にどの要因が市場成長を促進するか？
– 市場および地域ごとに最も成長が期待される技術は？
– ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステムの市場機会はエンドマーケットの規模によってどのように変化するか？
– 脱ガス技術別および用途別に市場はどのように分布するか？
1 レポートの範囲
1.1 市場紹介
1.2 対象年
1.3 調査目的
1.4 市場調査方法論
1.5 調査プロセスとデータソース
1.6 経済指標
1.7 使用通貨
1.8 市場見積もりに関する注意事項
2 エグゼクティブサマリー
2.1 世界市場の概況
2.1.1 グローバルArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム 年次販売額 2021-2032年
2.1.2 地域別世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム現在と将来の分析 2021年、2025年、2032年
2.1.3 国/地域別世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム現在と将来の分析 2021年、2025年、2032年
2.2 脱ガス技術別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステムセグメント
2.2.1 膜コンタクター脱ガス
2.2.2 直接真空脱ガス
2.2.3 ハイブリッド脱ガス
2.2.4 その他
2.2.5 脱ガス技術別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売
2.2.5.1 脱ガス技術別のグローバルArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（2021-2026年）
2.2.5.2 脱ガス技術別のグローバルArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム収益および市場シェア（2021-2026年）
2.2.5.3 脱ガス技術別のグローバルArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売価格（2021-2026年）
2.3 膜材質別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステムセグメント
2.3.1 ポリプロピレン
2.3.2 ポリメチルペンテン
2.3.3 フッ素樹脂
2.3.4 その他
2.3.5 膜材質別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売
2.3.5.1 膜材質別のグローバルArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（2021-2026年）
2.3.5.2 膜材質別のグローバルArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム収益および市場シェア（2021-2026年）
2.3.5.3 膜材質別のグローバルArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売価格（2021-2026年）
2.4 溶存酸素制御レベル別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステムセグメント
2.4.1 超低DO ≤1 ppb
2.4.2 低DO >1–10 ppb
2.4.3 標準DO >10 ppb
2.4.4 その他
2.4.5 溶存酸素制御レベル別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売
2.4.5.1 溶存酸素制御レベル別のグローバルArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（2021-2026年）
2.4.5.2 溶存酸素制御レベル別のグローバルArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム収益および市場シェア（2021-2026年）
2.4.5.3 溶存酸素制御レベル別のグローバルArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売価格（2021-2026年）
2.5 アプリケーション別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステムセグメント
2.5.1 ロジック
2.5.2 DRAM
2.5.3 その他
2.5.4 アプリケーション別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売
2.5.4.1 アプリケーション別のグローバルArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（2021-2026年）
2.5.4.2 アプリケーション別のグローバルArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム収益および市場シェア（2021-2026年）
2.5.4.3 アプリケーション別のグローバルArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売価格（2021-2026年）
3 企業別世界市場
3.1 企業別グローバルArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム詳細データ
3.1.1 企業別グローバルArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム年次販売額（2021-2026年）
3.1.2 企業別グローバルArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（2021-2026年）
3.2 企業別グローバルArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム年次収益（2021-2026年）
3.2.1 企業別グローバルArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム収益（2021-2026年）
3.2.2 企業別グローバルArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム収益市場シェア（2021-2026年）
3.3 企業別グローバルArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売価格
3.4 主要メーカーのArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム生産地域分布、販売地域、製品タイプ
3.4.1 主要メーカーのArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製品生産地分布
3.4.2 主要プレーヤーのArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製品ラインアップ
3.5 市場集中率分析
3.5.1 競争環境分析
3.5.2 集中率 (CR3、CR5、CR10)（2024-2026年）
3.6 新製品と潜在的参入者
3.7 市場M&A活動および戦略
4 地域別世界のArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム歴史的レビュー
4.1 地域別世界のArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム市場規模（2021-2026年）
4.1.1 地域別グローバルArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム年次販売額（2021-2026年）
4.1.2 地域別グローバルArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム年次収益（2021-2026年）
4.2 国/地域別世界のArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム市場規模（2021-2026年）
4.2.1 国/地域別グローバルArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム年次販売額（2021-2026年）
4.2.2 国/地域別グローバルArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム年次収益（2021-2026年）
4.3 アメリカ大陸のArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売成長
4.4 アジア太平洋地域のArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売成長
4.5 ヨーロッパのArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売成長
4.6 中東・アフリカのArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売成長
5 アメリカ大陸
5.1 アメリカ大陸のArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売国別
5.1.1 アメリカ大陸のArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売国別（2021-2026年）
5.1.2 アメリカ大陸のArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム収益国別（2021-2026年）
5.2 アメリカ大陸の脱ガス技術別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売（2021-2026年）
5.3 アメリカ大陸のアプリケーション別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売（2021-2026年）
5.4 アメリカ合衆国
5.5 カナダ
5.6 メキシコ
5.7 ブラジル
6 アジア太平洋地域
6.1 アジア太平洋地域のArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売地域別
6.1.1 地域別アジア太平洋ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売（2021-2026年）
6.1.2 地域別アジア太平洋ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム収益（2021-2026年）
6.2 アジア太平洋の脱ガス技術別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売（2021-2026年）
6.3 アジア太平洋のアプリケーション別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売（2021-2026年）
6.4 中国
6.5 日本
6.6 韓国
6.7 東南アジア
6.8 インド
6.9 オーストラリア
6.10 台湾
7 ヨーロッパ
7.1 ヨーロッパの国別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム
7.1.1 国別ヨーロッパArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売（2021-2026年）
7.1.2 国別ヨーロッパArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム収益（2021-2026年）
7.2 ヨーロッパの脱ガス技術別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売（2021-2026年）
7.3 ヨーロッパのアプリケーション別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売（2021-2026年）
7.4 ドイツ
7.5 フランス
7.6 イギリス
7.7 イタリア
7.8 ロシア
8 中東・アフリカ
8.1 中東・アフリカの国別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム
8.1.1 国別中東・アフリカArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売（2021-2026年）
8.1.2 国別中東・アフリカArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム収益（2021-2026年）
8.2 中東・アフリカの脱ガス技術別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売（2021-2026年）
8.3 中東・アフリカのアプリケーション別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売（2021-2026年）
8.4 エジプト
8.5 南アフリカ
8.6 イスラエル
8.7 トルコ
8.8 GCC諸国
9 市場の推進要因、課題およびトレンド
9.1 市場推進要因および成長機会
9.2 市場課題およびリスク
9.3 業界トレンド
10 製造コスト構造分析
10.1 原材料と供給業者
10.2 ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステムの製造コスト構造分析
10.3 ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステムの製造プロセス分析
10.4 ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステムの産業チェーン構造
11 マーケティング、流通および顧客
11.1 販売チャネル
11.1.1 直接チャネル
11.1.2 間接チャネル
11.2 ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステムの流通業者
11.3 ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステムの顧客
12 地域別世界市場予測レビュー
12.1 地域別グローバルArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム市場規模予測
12.1.1 地域別グローバルArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム予測（2027-2032年）
12.1.2 地域別グローバルArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム年次収益予測（2027-2032年）
12.2 国別アメリカ大陸予測（2027-2032年）
12.3 地域別アジア太平洋予測（2027-2032年）
12.4 国別ヨーロッパ予測（2027-2032年）
12.5 国別中東・アフリカ予測（2027-2032年）
12.6 脱ガス技術別グローバルArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム予測（2027-2032年）
12.7 アプリケーション別グローバルArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム予測（2027-2032年）
13 主要プレーヤー分析
13.1 Xylem Inc.
13.1.1 Xylem Inc. 企業情報
13.1.2 Xylem Inc. ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製品ポートフォリオおよび仕様
13.1.3 Xylem Inc. ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売、収益、価格および粗利益率（2021-2026年）
13.1.4 Xylem Inc. 主な事業概要
13.1.5 Xylem Inc. 最新の動向
13.2 Entegris, Inc.
13.2.1 Entegris, Inc. 企業情報
13.2.2 Entegris, Inc. ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製品ポートフォリオおよび仕様
13.2.3 Entegris, Inc. ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売、収益、価格および粗利益率（2021-2026年）
13.2.4 Entegris, Inc. 主な事業概要
13.2.5 Entegris, Inc. 最新の動向
13.3 野村マイクロサイエンス株式会社
13.3.1 野村マイクロサイエンス株式会社 企業情報
13.3.2 野村マイクロサイエンス株式会社 ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製品ポートフォリオおよび仕様
13.3.3 野村マイクロサイエンス株式会社 ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売、収益、価格および粗利益率（2021-2026年）
13.3.4 野村マイクロサイエンス株式会社 主な事業概要
13.3.5 野村マイクロサイエンス株式会社 最新の動向
13.4 浙江CHEERテクノロジー株式会社
13.4.1 浙江CHEERテクノロジー株式会社 企業情報
13.4.2 浙江CHEERテクノロジー株式会社 ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製品ポートフォリオおよび仕様
13.4.3 浙江CHEERテクノロジー株式会社 ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売、収益、価格および粗利益率（2021-2026年）
13.4.4 浙江CHEERテクノロジー株式会社 主な事業概要
13.4.5 浙江CHEERテクノロジー株式会社 最新の動向
13.5 Thermo Fisher Scientific Inc.
13.5.1 Thermo Fisher Scientific Inc. 企業情報
13.5.2 Thermo Fisher Scientific Inc. ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製品ポートフォリオおよび仕様
13.5.3 Thermo Fisher Scientific Inc. ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売、収益、価格および粗利益率（2021-2026年）
13.5.4 Thermo Fisher Scientific Inc. 主な事業概要
13.5.5 Thermo Fisher Scientific Inc. 最新の動向
13.6 DIC株式会社
13.6.1 DIC株式会社 企業情報
13.6.2 DIC株式会社 ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製品ポートフォリオおよび仕様
13.6.3 DIC株式会社 ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売、収益、価格および粗利益率（2021-2026年）
13.6.4 DIC株式会社 主な事業概要
13.6.5 DIC株式会社 最新の動向
13.7 Henkel AG & Co. KGaA
13.7.1 Henkel AG & Co. KGaA 企業情報
13.7.2 Henkel AG & Co. KGaA ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製品ポートフォリオおよび仕様
13.7.3 Henkel AG & Co. KGaA ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売、収益、価格および粗利益率（2021-2026年）
13.7.4 Henkel AG & Co. KGaA 主な事業概要
13.7.5 Henkel AG & Co. KGaA 最新の動向
13.8 Wacker Chemie AG
13.8.1 Wacker Chemie AG 企業情報
13.8.2 Wacker Chemie AG ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製品ポートフォリオおよび仕様
13.8.3 Wacker Chemie AG ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売、収益、価格および粗利益率（2021-2026年）
13.8.4 Wacker Chemie AG 主な事業概要
13.8.5 Wacker Chemie AG 最新の動向
13.9 Elkem ASA
13.9.1 Elkem ASA 企業情報
13.9.2 Elkem ASA ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製品ポートフォリオおよび仕様
13.9.3 Elkem ASA ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売、収益、価格および粗利益率（2021-2026年）
13.9.4 Elkem ASA 主な事業概要
13.9.5 Elkem ASA 最新の動向
13.10 CHT Germany GmbH
13.10.1 CHT Germany GmbH 企業情報
13.10.2 CHT Germany GmbH ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製品ポートフォリオおよび仕様
13.10.3 CHT Germany GmbH ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売、収益、価格および粗利益率（2021-2026年）
13.10.4 CHT Germany GmbH 主な事業概要
13.10.5 CHT Germany GmbH 最新の動向
13.11 WEVO CHEMIE GmbH
13.11.1 WEVO CHEMIE GmbH 企業情報
13.11.2 WEVO CHEMIE GmbH ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製品ポートフォリオおよび仕様
13.11.3 WEVO CHEMIE GmbH ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売、収益、価格および粗利益率（2021-2026年）
13.11.4 WEVO CHEMIE GmbH 主な事業概要
13.11.5 WEVO CHEMIE GmbH 最新の動向
14 調査結果および結論
【調査レポートの図表一覧】表一覧
表1. 地域別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム年間売上高CAGR（2021年、2025年、2032年）および（金額：百万ドル）
表2. 国別/地域別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム年間売上高CAGR（2021年、2025年、2032年）および（金額：百万ドル）
表3. 膜コンタクタ脱ガスの主要プレイヤー
表4. 直接真空脱ガスの主要プレイヤー
表5. ハイブリッド脱ガスの主要プレイヤー
表6. その他の主要プレイヤー
表7. 脱ガス技術別の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数（2021年～2026年）
表8. 脱ガス技術別の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（2021年～2026年）
表9. 脱ガス技術別の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高（金額：百万ドル、2021年～2026年）
表10. 脱ガス技術別の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高市場シェア（2021年～2026年）
表11. 脱ガス技術別の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売価格（単価：千米ドル/台、2021年～2026年）
表12. ポリプロピレンの主要プレイヤー
表13. ポリメチルペンテンの主要プレイヤー
表14. フッ素樹脂の主要プレイヤー
表15. その他の主要プレイヤー
表16. 膜材料別の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数（2021年～2026年）
表17. 膜材料別の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（2021年～2026年）
表18. 膜材料別の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高（金額：百万ドル、2021年～2026年）
表19. 膜材料別の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高市場シェア（2021年～2026年）
表20. 膜材料別の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売価格（単価：千米ドル/台、2021年～2026年）
表21. 超低DO（溶存酸素）≤1ppbの主要プレイヤー
表22. 低DO >1–10ppbの主要プレイヤー
表23. 標準DO >10ppbの主要プレイヤー
表24. その他の主要プレイヤー
表25. 溶存酸素制御レベル別の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数（2021年～2026年）
表26. 溶存酸素制御レベル別の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（2021年～2026年）
表27. 溶存酸素制御レベル別の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高（金額：百万ドル、2021年～2026年）
表28. 溶存酸素制御レベル別の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高市場シェア（2021年～2026年）
表29. 溶存酸素制御レベル別の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売価格（単価：千米ドル/台、2021年～2026年）
表30. 用途別の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数（2021年～2026年）
表31. 用途別の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（2021年～2026年）
表32. 用途別の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高（金額：百万ドル、2021年～2026年）
表33. 用途別の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高市場シェア（2021年～2026年）
表34. 用途別の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売価格（単価：千米ドル/台、2021年～2026年）
表35. 企業別の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数（2021年～2026年）
表36. 企業別の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（2021年～2026年）
表37. 企業別の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高（金額：百万ドル、2021年～2026年）
表38. 企業別の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高市場シェア（2021年～2026年）
表39. 企業別の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売価格（単価：千米ドル/台、2021年～2026年）
表40. 主要製造業者のArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステムの生産拠点・販売エリア分布
表41. 参入企業のArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製品一覧
表42. ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステムの濃縮比率（CR3、CR5、CR10）および（2024年～2026年）
表43. 新製品と潜在的参入者
表44. 市場のM&A動向および戦略
表45. 地域別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数（2021年～2026年）
表46. 地域別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（2021年～2026年）
表47. 地域別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高（金額：百万ドル、2021年～2026年）
表48. 地域別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高市場シェア（2021年～2026年）
表49. 国別/地域別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数（2021年～2026年）
表50. 国別/地域別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（2021年～2026年）
表51. 国別/地域別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高（金額：百万ドル、2021年～2026年）
表52. 国別/地域別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高市場シェア（2021年～2026年）
表53. アメリカ地域別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数（国別、2021年～2026年）
表54. アメリカ地域別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（国別、2021年～2026年）
表55. アメリカ地域別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高（国別、2021年～2026年・百万ドル）
表56. アメリカ地域別脱ガス技術別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数（2021年～2026年）
表57. アメリカ地域別用途別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数（2021年～2026年）
表58. APAC地域別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数（地域別、2021年～2026年）
表59. APAC地域別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（地域別、2021年～2026年）
表60. APAC地域別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高（地域別、2021年～2026年・百万ドル）
表61. APAC地域別脱ガス技術別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数（2021年～2026年）
表62. APAC地域別用途別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数（2021年～2026年）
表63. ヨーロッパ地域別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数（国別、2021年～2026年）
表64. ヨーロッパ地域別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高（国別、2021年～2026年・百万ドル）
表65. ヨーロッパ地域別脱ガス技術別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数（2021年～2026年）
表66. ヨーロッパ地域別用途別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数（2021年～2026年）
表67. 中東・アフリカ地域別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数（国別、2021年～2026年）
表68. 中東・アフリカ地域別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高市場シェア（国別、2021年～2026年）
表69. 中東・アフリカ地域別脱ガス技術別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数（2021年～2026年）
表70. 中東・アフリカ地域別用途別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数（2021年～2026年）
表71. ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステムの主要市場推進要因および成長機会
表72. ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステムの主要市場課題およびリスク
表73. ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステムの主要業界動向
表74. ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステムの原材料
表75. 主要な原材料サプライヤー
表76. ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステムディストリビューター一覧
表77. ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム顧客リスト
表78. 地域別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売予測（2027年～2032年）
表79. 地域別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高予測（金額：百万ドル、2027年～2032年）
表80. アメリカ国別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売予測（2027年～2032年）
表81. アメリカ国別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム年間売上高予測（金額：百万ドル、2027年～2032年）
表82. APAC地域別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売予測（2027年～2032年）
表83. APAC地域別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム年間売上高予測（金額：百万ドル、2027年～2032年）
表84. ヨーロッパ国別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売予測（2027年～2032年）
表85. ヨーロッパ国別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高予測（金額：百万ドル、2027年～2032年）
表86. 中東・アフリカ国別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売予測（2027年～2032年）
表87. 中東・アフリカ国別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高予測（金額：百万ドル、2027年～2032年）
表88. 脱ガス技術別の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売予測（2027年～2032年）
表89. 脱ガス技術別の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高予測（金額：百万ドル、2027年～2032年）
表90. 用途別の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売予測（2027年～2032年）
表91. 用途別の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高予測（金額：百万ドル、2027年～2032年）
表92. Xylem Inc. 基本情報、ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製造拠点、販売エリアおよび競合他社
表93. Xylem Inc. ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製品ポートフォリオおよび仕様
表94. Xylem Inc. ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数、売上高、価格、粗利益（2021年～2026年）
表95. Xylem Inc. 主な事業内容
表96. Xylem Inc. 最新動向
表97. Entegris, Inc. 基本情報、ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製造拠点、販売エリアおよび競合他社
表98. Entegris, Inc. ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製品ポートフォリオおよび仕様
表99. Entegris, Inc. ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数、売上高、価格、粗利益（2021年～2026年）
表100. Entegris, Inc. 主な事業内容
表101. Entegris, Inc. 最新動向
表102. 野村マイクロサイエンス株式会社 基本情報、ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製造拠点、販売エリアおよび競合他社
表103. 野村マイクロサイエンス株式会社 ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製品ポートフォリオおよび仕様
表104. 野村マイクロサイエンス株式会社 ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数、売上高、価格、粗利益（2021年～2026年）
表105. 野村マイクロサイエンス株式会社 主な事業内容
表106. 野村マイクロサイエンス株式会社 最新動向
表107. 浙江CHEERテクノロジー株式会社 基本情報、ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製造拠点、販売エリアおよび競合他社
表108. 浙江CHEERテクノロジー株式会社 ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製品ポートフォリオおよび仕様
表109. 浙江CHEERテクノロジー株式会社 ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数、売上高、価格、粗利益（2021年～2026年）
表110. 浙江CHEERテクノロジー株式会社 主な事業内容
表111. 浙江CHEERテクノロジー株式会社 最新動向
表112. Thermo Fisher Scientific Inc. 基本情報、ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製造拠点、販売エリアおよび競合他社
表113. Thermo Fisher Scientific Inc. ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製品ポートフォリオおよび仕様
表114. Thermo Fisher Scientific Inc. ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数、売上高、価格、粗利益（2021年～2026年）
表115. Thermo Fisher Scientific Inc. 主な事業内容
表116. Thermo Fisher Scientific Inc. 最新動向
表117. DIC株式会社 基本情報、ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製造拠点、販売エリアおよび競合他社
表118. DIC株式会社 ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製品ポートフォリオおよび仕様
表119. DIC株式会社 ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数、売上高、価格、粗利益（2021年～2026年）
表120. DIC株式会社 主な事業内容
表121. DIC株式会社 最新動向
表122. Henkel AG & Co. KGaA 基本情報、ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製造拠点、販売エリアおよび競合他社
表123. Henkel AG & Co. KGaA ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製品ポートフォリオおよび仕様
表124. Henkel AG & Co. KGaA ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数、売上高、価格、粗利益（2021年～2026年）
表125. Henkel AG & Co. KGaA 主な事業内容
表126. Henkel AG & Co. KGaA 最新動向
表127. Wacker Chemie AG 基本情報、ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製造拠点、販売エリアおよび競合他社
表128. Wacker Chemie AG ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製品ポートフォリオおよび仕様
表129. Wacker Chemie AG ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数、売上高、価格、粗利益（2021年～2026年）
表130. Wacker Chemie AG 主な事業内容
表131. Wacker Chemie AG 最新動向
表132. Elkem ASA 基本情報、ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製造拠点、販売エリアおよび競合他社
表133. Elkem ASA ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製品ポートフォリオおよび仕様
表134. Elkem ASA ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数、売上高、価格、粗利益（2021年～2026年）
表135. Elkem ASA 主な事業内容
表136. Elkem ASA 最新動向
表137. CHT Germany GmbH 基本情報、ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製造拠点、販売エリアおよび競合他社
表138. CHT Germany GmbH ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製品ポートフォリオおよび仕様
表139. CHT Germany GmbH ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数、売上高、価格、粗利益（2021年～2026年）
表140. CHT Germany GmbH 主な事業内容
表141. CHT Germany GmbH 最新動向
表142. WEVO CHEMIE GmbH 基本情報、ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製造拠点、販売エリアおよび競合他社
表143. WEVO CHEMIE GmbH ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム製品ポートフォリオおよび仕様
表144. WEVO CHEMIE GmbH ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数、売上高、価格、粗利益（2021年～2026年）
表145. WEVO CHEMIE GmbH 主な事業内容
表146. WEVO CHEMIE GmbH 最新動向
図一覧
図1. ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム写真
図2. 本レポート対象年
図3. 研究目的
図4. 研究方法論
図5. 研究プロセスおよびデータソース
図6. 世界のArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上成長率（2021年～2032年、台数）
図7. 世界のArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高成長率（2021年～2032年、百万ドル）
図8. 地域別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売（2021年、2025年、2032年）および（百万ドル）
図9. 国別/地域別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（2025年）
図10. 国別/地域別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（2021年、2025年、2032年）
図11. 膜コンタクタ脱ガス製品写真
図12. 直接真空脱ガス製品写真
図13. ハイブリッド脱ガス製品写真
図14. その他の製品写真
図15. 脱ガス技術別世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（2026年）
図16. 脱ガス技術別世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高市場シェア（2021年～2026年）
図17. ポリプロピレン製品写真
図18. ポリメチルペンテン製品写真
図19. フッ素樹脂製品写真
図20. その他製品写真
図21. 膜材料別世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（2026年）
図22. 膜材料別世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高市場シェア（2021年～2026年）
図23. 超低DO ≤1ppb製品写真
図24. 低DO >1–10ppb製品写真
図25. 標準DO >10ppb製品写真
図26. その他製品写真
図27. 溶存酸素制御レベル別世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（2026年）
図28. 溶存酸素制御レベル別世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高市場シェア（2021年～2026年）
図29. 論理用途に消費されるArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム
図30. 論理用途の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム市場（2021年～2026年、台数）
図31. DRAM用途に消費されるArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム
図32. DRAM用途の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム市場（2021年～2026年、台数）
図33. その他用途に消費されるArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム
図34. その他用途の世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム市場（2021年～2026年、台数）
図35. 用途別世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（2025年）
図36. 用途別世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高市場シェア（2025年）
図37. 企業別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数（2025年）
図38. 企業別世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（2025年）
図39. 企業別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高（2025年、百万ドル）
図40. 企業別世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高市場シェア（2025年）
図41. 地域別世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（2021年～2026年）
図42. 地域別世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高市場シェア（2025年）
図43. アメリカArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数（2021年～2026年）
図44. アメリカArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高（2021年～2026年、百万ドル）
図45. APAC ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数（2021年～2026年）
図46. APAC ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高（2021年～2026年、百万ドル）
図47. ヨーロッパArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数（2021年～2026年）
図48. ヨーロッパArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高（2021年～2026年、百万ドル）
図49. 中東・アフリカArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売台数（2021年～2026年）
図50. 中東・アフリカArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高（2021年～2026年、百万ドル）
図51. アメリカ国別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（2025年）
図52. アメリカ国別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高市場シェア（2021年～2026年）
図53. アメリカ脱ガス技術別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（2021年～2026年）
図54. アメリカ用途別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（2021年～2026年）
図55. アメリカ合衆国ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高成長（2021年～2026年、百万ドル）
図56. カナダArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高成長（2021年～2026年、百万ドル）
図57. メキシコArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高成長（2021年～2026年、百万ドル）
図58. ブラジルArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高成長（2021年～2026年、百万ドル）
図59. APAC地域別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（2025年）
図60. APAC地域別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高市場シェア（2021年～2026年）
図61. APAC脱ガス技術別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（2021年～2026年）
図62. APAC用途別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（2021年～2026年）
図63. 中国ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高成長（2021年～2026年、百万ドル）
図64. 日本ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高成長（2021年～2026年、百万ドル）
図65. 韓国ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高成長（2021年～2026年、百万ドル）
図66. 東南アジアArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高成長（2021年～2026年、百万ドル）
図67. インドArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高成長（2021年～2026年、百万ドル）
図68. オーストラリアArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高成長（2021年～2026年、百万ドル）
図69. 台湾ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高成長（2021年～2026年、百万ドル）
図70. ヨーロッパ国別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（2025年）
図71. ヨーロッパ国別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高市場シェア（2021年～2026年）
図72. ヨーロッパ脱ガス技術別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（2021年～2026年）
図73. ヨーロッパ用途別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（2021年～2026年）
図74. ドイツArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高成長（2021年～2026年、百万ドル）
図75. フランスArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高成長（2021年～2026年、百万ドル）
図76. イギリスArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高成長（2021年～2026年、百万ドル）
図77. イタリアArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高成長（2021年～2026年、百万ドル）
図78. ロシアArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高成長（2021年～2026年、百万ドル）
図79. 中東・アフリカ国別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（2021年～2026年）
図80. 中東・アフリカ脱ガス技術別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（2021年～2026年）
図81. 中東・アフリカ用途別ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア（2021年～2026年）
図82. エジプトArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高成長（2021年～2026年、百万ドル）
図83. 南アフリカArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高成長（2021年～2026年、百万ドル）
図84. イスラエルArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高成長（2021年～2026年、百万ドル）
図85. トルコArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高成長（2021年～2026年、百万ドル）
図86. GCC諸国ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高成長（2021年～2026年、百万ドル）
図87. 2026年におけるArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステムの製造コスト構成分析
図88. ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステムの製造プロセス分析
図89. ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステムの産業チェーン構造
図90. 流通チャネル
図91. 地域別世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場予測（2027年～2032年）
図92. 地域別世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高市場シェア予測（2027年～2032年）
図93. 脱ガス技術別世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア予測（2027年～2032年）
図94. 脱ガス技術別世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高市場シェア予測（2027年～2032年）
図95. 用途別世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム販売市場シェア予測（2027年～2032年）
図96. 用途別世界ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステム売上高市場シェア予測（2027年～2032年）
| ※ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステムは、半導体製造プロセスにおいて非常に重要な役割を果たしています。このシステムは、光リソグラフィの一環として、ArF（アルゴン・フッ化物）を使用した液浸リソグラフィにおける高純度の水を供給するために開発されました。具体的には、半導体ウェハのパターン形成を行う際に、薄い水膜を形成する必要があります。この水膜は、光学的な特性を向上させ、解像度を上げるために不可欠です。 超純水は、前処理によって不純物を除去した水であり、通常の水とは異なり、微細なコンタミネーションを防ぐため、非常に高い品質基準が求められます。脱ガス処理は、超純水中の溶解ガス（特に酸素や二酸化炭素）を除去するプロセスであり、これは光学性能に直接的な影響を及ぼします。溶解ガスが多く存在すると、液体の屈折率が変化し、リソグラフィプロセスの精度が低下する可能性があります。 脱ガスシステムにはいくつかの種類があり、代表的な方法としては真空脱気、超音波脱気、そして膜フィルター脱気などがあります。真空脱気は、水を真空状態で処理することによって、溶解ガスを効率的に除去します。これにより、非常に高い削減率でガスを除去することができます。超音波脱気は、音波を利用して水中のガスバブルを生成し、それを水面に上昇させて除去します。この方法もまた効果的ですが、特定の条件下での使用が推奨されます。膜フィルター脱気は、特定の膜を通じてガスを排出する技術で、膜の選定が重要です。 ArF液浸リソグラフィにおいて利用される超純水脱ガスシステムは、半導体製造の進化と共に重要性を増しています。今後、より高解像度のチップ設計や微細加工技術が求められる中、超純水の品質が製品の性能に与える影響もより深刻になってくるでしょう。 ユーザーは、脱ガスシステムの選定の際に、処理速度、維持管理のコスト、そして効果的な脱気率を考慮する必要があります。これにより、製造プロセス全体のコストパフォーマンスや生産効率が大きく変わるため、慎重な選択が求められます。 また、関連技術の進化も見逃せません。最近の研究では、ナノフィルター技術や特殊な触媒を使用した新しい脱ガス手法が提案されています。これらは、従来の技術に比べてさらなる効率化やコスト削減を実現する可能性があります。特に、ナノ技術の進歩により、より高性能な脱気システムの実現が期待されており、今後の技術革新が注目されています。 さらに、環境保護の観点からも、持続可能な水処理技術の開発が求められています。リサイクル可能な資源としての水の利用を最大化するため、新たな脱ガスシステムは、エネルギー効率が高く、環境負荷の少ないものへと進化する必要があります。 このように、ArF液浸リソグラフィ用超純水脱ガスシステムは、単なる水処理装置ではなく、半導体産業における革新を支える重要な技術です。将来的には、これらのシステムが半導体製造だけでなく、他の産業分野でも応用されるようになるかもしれません。半導体産業の発展と共に、超純水脱ガスシステムの技術革新が続く限り、その重要性はますます高まることでしょう。 |